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压力烧结炉维修厂家对几种罕见毛病应答办法

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压力烧结炉维修厂家对几种罕见毛病应答办法

宣布日期:2020-09-18 作者: 点击:

压力烧结炉首要用于半导体元器件及电力整流器件的烧结工艺,可遏制真空烧结,气体掩护烧结及惯例烧结,是半导体装备系列中一种新奇的工艺装备。上面详解压力烧结炉维修的几种罕见毛病应答办法:

压力烧结炉维修

一、冷却水非常

1、确认加热电源已遏制。  

2、炉外发生漏水,冷却水量非常时,应尽快采用应急办法,如能保障水量,请持续坚持真空,如不能采用应急办法,坚持原状,确认装备冷却上去。  

3、冷却水发生非常时,装备处于遏制状况,顿时接通告急用冷却水。  

4、在低温(跨越200℃即视为低温)时,若是冷却水遏制了,若是不能告急送水,水冷电极、换热器、真空室壳体及各泵能够或许被破坏。


二、紧缩氛围的遏制

1、紧缩氛围非常报警时,装备处于遏制状况,应尽快到备用的紧缩机房,让其规复任务。  

2、真空中如紧缩氛围非常报警,且规复须要较长时候时,则遏制真空,让装备停上去。


三、停电  

1、停电时,若是断水,应当即接通备用的冷却水,接通水源。  

2、若是在非升温、加热和冷却时,能够或许尽快规复时,从头启动装备,持续运行如须要较长时候,则将装备坚持原状。  

3、若是正在加热和冷却时,能够或许尽快规复时,从头启动装备,若是须要较长时候时,则坚持原状,让装备天然冷却上去。


四、加热电源掉电

1、水抬高,当水抬高于0.15MPa,压力表报警。  

2、接地毛病。  

3、真空放电,水冷电极讨论与加热器毗连处必须毗连安稳,与反射圮绝缘要好。  

4、若炉内压力为13.3-66.5Pa时(此真空度轻易发生放电)。电源呈现毛病,掉电的缘由能够以为因为电介质击穿而引发的放电。


五、充气气体(氩气或氮气)遏制

1、抽真空起头前,气体充入时候长或没法充入时,请确认气体管路是不是被梗塞。  

2、如气体管路没题目,查抄电磁阀及气体充气阀的举措,为了宁静与其相干联的装备要全数遏制后再遏制查抄。  

3、向真空室内充气不能遏制的环境下,泄压阀举措如泄压阀举措时,要封闭气体供应阀及配管在内的一切气系统统。  

4、确认气体充气配管是不是有漏气的处所,若有会影响成品德量。

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